LED外观检查装置

■特征
．可同时检查多片晶片
．在彩色空间中指定良品范围，即可设定详细内容
．可以软体支援品种切换
．可排除NG晶片或标记为不良品。
．可输入MAP档案（将检查结果覆盖输出
．可将检查结果输出为档案（MAP档)

■检查项目
脏污、变色、异物、裂痕、破损、伤痕

■对象工作物
晶粒切割后的所有晶圆晶片
．环的尺寸：5、6、8吋用平板环（Flat Ring)
．基板尺寸：+-150mm以内
．晶片尺寸：0.1mm～

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